top of page
motheye_i008 (1).jpg

Advanced Complex Technology

​高度な複合技術による新プロセス開発

image (4).png
SCI_i009 (1).jpg
No.2_WG_20sec_2.jpg

■ Si Mold

■ Moth-eye Pattern

■ Large area mold(A4 size)

Bush Clover develops manufacturing technologies with our industry partners in order to provide novel nanoimprinting solutions to our clients.

 

Resist patterns formed via laser or electron beam lithography are too delicate to be used as a mold as they are.

 

We employ a unique low temperature plating process that produces molds at 100nm feature sizes with minimum possible surface deformation.

 

High aspect ratio moth-eye patterns are achieved via the combination of EB lithography and dry etching techniques. Our technology is one of a kind, going as far as supporting adjustable pitch/height ratio.

 

Typical mold processes can only cover areas from 2 to 4 inches. Bush Clover has succeeded in exceeding the typical limit, and together with our industry partners developed a revolutionary technology that supports the creation of molds up to the size of A4 paper.

 

Our mold technologies vary from nanoimprinting, injection moulding, roll-to-roll, nanoimprint etc.

 

 

ハイアスペクトプロセス
ハイアスペクト.jpg

材質:Si

寸法:W 5.5um / Pitch 10um / H67um

​パターンエリア:φ6インチ

DeepRIEを駆使して 、アスペクト比 1 0 を超えるハイアスペクトのL&S 形状の開発に成功しました。
Φ6 インチ基板全面に L&S 形状を作製する事が可能です。
2022 年 6 月より受託加工を開始いたしました。

​モスアイ受託製造
モスアイ.jpg

材質:Si

寸法:Pitch 250nm / H 600nm

​パターンエリア:□20mm

半導体プロセスを用いたモスアイ形状の開発に成功しました。

モスアイ構造に求められる狭ピッチ、ハイアスペクトを達成。

2021年12月より受託加工を開始いたしました。

​©2022 Bush Clover Inc. All rights are reserved.
bottom of page